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洁净工作棚设计结构及应用

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洁净工作棚设计概念及结构面对现今半导体工业竞争越来越激烈的情况下,其洁净厂房内洁净度的维持与生产率的提升,是IC制造产业不可缺少的一个环节。新的洁净室的设计思路,干净的工棚 采用集成模块化设计理念,有独立的特制FFU机组(HEPA)。这种形式的优点在于,(弹性隔间容易,建设成本低),人员和设备,工业有效隔离,如此做法可使人为的干忧及污染降低到最低程度,并直接提高行业的质量。

材质不锈钢方通喷塑作为框架,风机过滤器机组FFU使用空气,通过防静电门帘包围,毯子顶部密缝盲,密缝区的形成,内部净化级别可达10---100000级;特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域,如流水线作业区域。高精度工业组装区。

组装式结构设计,安装方便,大大缩短了交货周期;

移动方便;适用于建造小面积的洁净区域。模块化结构,提高净化级别容易,可扩展性,和重复利用价值高。